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1,镀膜伞及伞装载车

2,蒸发及辅助系统

  • 2-1,电子枪
  • 2-2,阻蒸(资料未上线)
  • 2-3,此处留空
  • 2-4,伞架挂具(资料未上线)
  • 2-5,伞架回转系统(资料未上线)
  • 2-5-1,伞架回转系统
  • 2-5-2,修正板系统
  • 2-6,辅助系统(资料未上线)
  • 2-6-1,卤素灯加热
  • 2-6-1,加热丝加热
  • 2-6-2,离子源系统
  • 2-7,气体及护板,护板烘烤(资料未上线)
  • 2-7-2,自动压力控制系统
  • 2-7-2,离子源供气系统
  • 2-7-3,护板(地面)
  • 2-7-3,护板(侧面)
  • 2-7-3,护板(排气口百叶窗)
  • 2-7-3,伞架周边
  • 2-7-4,护板烘烤
  • 2-8,蒸发挡板及膜厚控制系统(资料未上线)
  • 2-8-1,蒸发挡板
  • 2-8-2,光控系统
  • 2-8-3,晶空系统
  • 2-9,此处留空
  • 2-10,伞架冷却系统

3,腔体及排气系统(资料未上线)

  • 3-1,腔体
  • 3-1-1,腔体本体
  • 3-1-3,门
  • 3-1-4,盲板
  • 3-1-5,破真空系统
  • 3-2,排气系统
  • 3-2-1,粗抽系统(机械泵系统)
  • 3-2-2,高真空系统(扩散泵)
  • 3-2-4,高真空系统(冷凝泵)
  • 3-2-5,高真空系统(冷冻机)

4,电气控制系统(未上线)

5,动力供给

  • 5-1-1,供电(未上线)
  • 5-1-2,动力用压缩空气
  • 5-1-3,用水
  • 5-1-4,纯净气体

9,备品,耗材及工具