1.5电子枪动作异常(如开镀后没有电流等)
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请按照以下顺序检查

1,水晶仪面板上的参数与镀膜机设定的参数是否一致?

水晶膜厚计参数未从PLC正确传递过来时,将无法进行镀膜。
检查水晶膜厚计上的参数(MAXPOWER,镀膜速率,最终膜厚……)是否与设定一致。
如不一致,则需要对水晶膜厚计与控制器(有电脑的是电脑控制,无电脑的是PLC控制)
之间的通讯线进行检查。
**重新连接通讯线后,需重启水晶膜厚计及控制器。

2,电子枪后面的通讯电缆是否连接OK。

重新连接电子枪后面的通讯电缆。
检查电子枪后面的保险丝是否有熔损。

3,电子枪的高压(两根黑色导线,连到变压器)及低压导线(一根航空插头导线,连到COIL)是否OK。

关闭电子枪电源并等待10分钟。
打开电子枪电源侧面板,检查变压器连接的高压导线是否连接可靠(用手轻摇不松脱)
然后沿着导线检查真空室下部,真空室内的连接是否可靠,压接头是否牢靠。
低压导线检查方法如附件EB COIL

4,控制柜内继电器及I/O卡片是否OK。

用万用表检查控制柜内连接电子枪的继电器是否输出良好,I/O卡片的输入输出是否成正比。

5,控制系统是否不稳定。

重启整台设备,并检查控制器之间的连线是否可靠。