1.产品光学特性不稳定

产品光学特性不稳定主要有以下几种情况:

1,罩与罩之间的光学特性差异。

i)检查异常批次的镀膜LOG记录,主要查看
离子源参数:离子源电压,电流;中和器电流;气体流量
电子枪参数:镀膜速率,电子枪电流
真空度:开镀真空及开镀时间;充氧流量或者镀膜时的真空度
如发现有不同处,重点检查此处问题。
镀膜时是否有异常报警
ii)排除镀膜药材及监控片、水晶片货源不同造成的影响。
iii)确认离子源/电子枪挡板的开关速度(1秒内)、高度、角度一致。
(排除漏料,挡料造成的影响)

2,同一罩内不同圈的光学特性的差异。(外圈)

i)检查修正板的上下动作(5秒左右),是否每次都能到位,用手摇晃不会晃动。
ii)确认离子源/电子枪挡板的开关速度(1秒内)、高度、角度一致。
(排除漏料,挡料造成的影响)
iii)确认离子源工作是否正常(离子源:中和器电流比应为1:1.5~2)

3,同圈的光学特性差异。

主要检查伞架旋转是否平稳
(用百分表测量,手动旋转一圈,伞架外圈高度/水平位置差异在土1.0mm以内为正常)
膜系设计尽量避免薄层,以免修正板遮挡造成差异。