5,真空系统(真空泵,阀,真空计,压力控制)

真空系统(真空泵,阀,真空计,压力控制)

  • 5.1机械泵组报警(不能启动或者跳闸),真空度差
  • 5.2扩散泵报警(不能启动或者跳闸),真空度差
  • 5.3粗抽阀,精抽阀(高阀),辅助阀(机械泵连接扩散泵的阀),泄气阀报警及动作不良。
  • 5.4真空计报警或者真空度异常
  • 5.5充氧(自动压力控制系统)异常(压力达不到或者流量不稳定)