2.1离子源中和器都不能打开电源(新柯隆制RF离子源)
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先进行以下检查:

  • 设备周边的初步检查(触摸屏,供气供水,离子源电源柜)

确定气体的供给 (钢瓶的压力,钢瓶阀门是否打开)。请在交换钢瓶后第一次镀膜时,手动开启气流进行抽真空检漏及清洗。
离子源电源柜各部分电源置于“ON”状态(如果打开也无显示,则检查控制柜空开)。
各部分的自动–手动切换控制均置于“REMOTE”(自动状态)。
触摸屏内各开关状态都置于”AUTO”(自动状态)。

如果离子源或中和器电源显示SAFETY LOCK(其他情况请打新柯隆售后服务电话),则进行以下检查:

  • 真空室外部:

    冷却水流量,真空度,真空腔下机架盖板未盖(如此三个发生锁定,同时电子枪也无法打开)检查方法:手动开一下电子枪,如电子枪也不能打开,则重点检查上面三个因素。

  • 真空室下部:

    1,离子源RF导入部筒形铝扣板(真空室下机架内,防RF辐射用,扣板打开或没扣好时,离子源被锁定)*某些时期的机型未设定扣板开关。为屏蔽辐射,扣板间隙设置非常小,安装比较困难,如无必要不要去拆。 检查方法:在电子枪可以打开,前面三个可以排除的情况下,打开离子源电源柜, 使用IBIL短路接头替换IBIL接线,如故障消除,则可判断扣板问题。2.1离子源中和器都不能打开电源(新柯隆制RF离子源) 2,离子源及中和器RF导线(粗黑线)没有接好或短路。(离子源,中和器的圆形同轴接头(4个)) 检查方法:拆开后重新安装并锁紧。
    3,离子源RF匹配箱电源(筒形盖板下方,后侧)及中和器电源(地面)有无打开,连接是否可靠。 检查方法:电源开关是否亮灯(亮灯则为打开),连接是否可靠。
    *,检查完毕,必须装上真空室下部盖板后,离子源才能打开。

  • 离子源电源柜:

    1,离子源及中和器RF导线(粗黑线)没有接好或短路。(离子源/中和器的圆形同轴接头(2个))
    检查方法:拆解后再安装紧固。 *必须关闭下机架盖板后,离子源才能打开。
    2,离子源电源柜内的高周波电源1000W(离子源),300W(中和器);中和器电源(SRNP-3);离子源电源(NIP4)是否问题。
    检查方法1:检查电源是否供电,连接是否完好。
    检查方法2:与其他设备更换检查。
    3,环境:温度(35度及以上),湿度(60%以上),粉尘都会造成离子源电源故障。
    适当降低环境温度及湿度后再试。

  • 真空室:

    1,离子源或中和器回路发生断路/错接现象。
    检查方法1:打开真空室,分别拆下离子源栅网及中和器,然后抽真空看INTEL LOCK有无消失。 若消失了则重点检查拆下的那部分有无短路或者错接现象。
    检查方法2:更换新的离子源栅网及中和器
    2,打扫离子源及中和器的接线柱,并检查气管(包括陶瓷件)是否有漏气,堵塞,破裂等现象。