资料:新柯隆机台资料集
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资料:新柯隆机台资料集

时间:2017-9-24 作者:ouyuu 分享到:

维修保养资料(17年10月25日资料全部重新上传)

系统资料:

分类资料:

第一部分:泵,阀

EDWARDS 油回转泵E2M275维修保养资料
EDWARDS EH罗茨泵介绍
EDWARDS罗兹泵的漏气阀垫圈交换
新柯隆扩散泵保养资料
新柯隆扩散泵资料
新柯隆L型气动式真空阀门说明
新柯隆真空阀门气缸保养顺序
POLYCOLD简单説明
Polycold中文说明书
TELMARK中文说明书

第二部分:日本电子电子枪,新柯隆离子源

日本电子电子枪说明书BS-60060
新柯隆NIS离子源说明书
新柯隆NIS型离子源讲习资料

第三部分:真空计,水晶仪,光控,APC自动压力控制器

INFICON VGC-401表头说明书(英文)
INFICON XTC3水晶仪中文说明书
INFICON 真空计维修保养
INFICON 潘宁真空计PEG100 维护说明
HORIBA APC控制器PCU-2100说明书(日文)
ULVAC水晶控制器 CRTM-6000(日文)
INFICON IC/5 蒸着制御器(IPN 074-237M)
TEXIO光控光源电源 PS20-20A日文说明书
新柯隆光学膜厚計OPM-Z1取扱説明書

第四部分:维修保养资料

镀膜机维护保养表
坩埚回转部保养
E2M275维修保养建议

真空装置维护保养周期

真空镀膜设备为何要做维修保养